אלקטרוניקה מוליכים למחצה
ייצור שבבי מעגלים משולבים דורש ציוד מיוחד מאוד שיכול לעבוד בסביבות קשות מרובות, כגון:
● פלזמה בסביבת ואקום;
● טמפרטורה גבוהה;
● מגע עם נוזל שוחק מאוד;
● חשיפה לכימיקלים רבים מאוד מאכלים.
יתרון
● רבייה מדויקת של חומר הזמין בכל מקום בעולם
● בחירת חומרים נרחבת, יכולות תמיכה הנדסית ובדיקה
● יכולת עיבוד שבבי, תמיכה בפיתוח יישומי NPI של מערכת סימולציה
● תיק חומרים רחב ביותר של חומרים המיועדים לכלי תהליכים רטובים
● יצרן מוביל עולמי של חומרי טבעת CMP, כולל PPS Techtron® (תקן גלובלי ליישומי CMP)
● חומרים המשמשים בכלי תהליכים יבשים כמו תחריט, השתלת CVD ו- ION כדי להפחית את העלות ולשיפור הביצועים
חומרים נפוצים
אצטל
פלסטיק אנטי-סטטי, סטטי, סטטי ומוליך
CPVC
פפ
צינורות פלואורופולימר
Fr polypropylene
Ectfe
PVDF
ניילון
לְהָצִיץ
חיית מחמד
PFA
קלטת פולימיד
PC
פוליפרופילן
PSU
Pps
PTFE
PEI
אפוקסי
בד כותנה פנולי
דורוסטון
FR4/G10
Bakelite
כוח חומרים
Ø כיתות פיזור סטטיות
Ø עמידות כימית
Ø ייצור חלקיקים נמוך ביישומי מיסב ולבישה
Ø מאפיינים בעלי גוזל נמוך
Ø רמות נמוכות של תמציות הניתנות למוצב בכימיקלים טוהרים גבוהים
Ø יכולות טמפרטורה גבוהה
Ø יציבות ממדית
יישומים אופייניים
מיסבים ותותבים
טנקים כימיים
מבודדים חשמליים
צינורות גמישים
שומרים ומגנים
טבעות ליטוש
ספין צ'אקים
יישומי בקרה סטטיים
מבחן שקעים
רכיבי שסתום
חלקי הטיפול ברקלים
ספסלים רטובים ותחנות עבודה
מוצרים ויישומים
מוצר | יישום |
Techtron®pps | טבעת CMP |
Semitron®CMP XL20 | תא תחריט ותא תגובת CVD |
הצצה Ketron®1000 | העברת רקיק |
Ertalyte®pet-p | מבנה תהליכים רטוב |
Duratron®PAI | רכיבי תהליכים רטובים, ספינות מיכל כימיות ואחסון מים של HP |